从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程,
以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1~0.2电子伏。
蒸发源有三种类型。①电阻加热源:用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质,电阻加热源主要用于蒸发Cd、
Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高频感应加热源:用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源:适用于蒸发温度较高(不低于2000[618-1])的材料,即用电子束轰击材料使其蒸发。
真空电镀加工pvd真空镀膜
真空电镀加工怎么进行环保呢?
一、真空镀膜加工的镀层厚度均匀致密。 无论工件如何复杂,pvd真空镀膜加工,均可在工件上得到均一镀层,其镀层精度可达±1微米。
二、各种基体材料均可处理,包括金属、半导体及非金属。
三、与金属件结合强度高 一般强度在350-450MPa自然状态下不起皮、不脱落。即可保持金属基件原有的机械性能,又 增加了镀件的耐磨性、耐腐蚀性。
四、耐腐蚀性强 金属件经表面处理后,由于表面形成了一种非晶态镀膜层,万江pvd真空镀膜,因为无晶界,所以抗腐蚀性能 优良。例如:在5%HCI中,含P质量分数为10.9%镍磷合金镀层的耐腐蚀层比ICr18Ni9Ti不锈钢还高出 10
10%HCI中则高出20倍以上。
3.晶格有序度的均匀性:
这决定了薄膜是单晶,pvd真空镀膜价格,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。
主要分类有两个大种类:
蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,pvd真空镀膜公司,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等
一、对于蒸发镀膜:
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
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